2014年11月19～21日に開催されましたICPT2014（International Conference on Planarization/CMP Technology）において発表いたしました論文「The Oxidant Impact for Tungsten Polishing」（W研磨における酸化剤の及ぼす影響）を技術情報ページにアップいたしました。

どうぞご覧ください。　www.nittadupont.co.jp/technical/514/