ガラス基板の研磨用途に用いられる製品です。 LCD用ガラス基板、水晶基板、ガラスディスク、フォトマスク、カラーフィルター、ITO膜などの平坦化研磨において優れた性能を発揮します。
Supreme RN-Hは、ポリウレタン発泡層を有する二層構造パッドです。LCDガラス基板などの仕上げ研磨や平坦化研磨に適用できます。平坦性を維持しつつ、高い平滑性、低欠陥性などの優れた研磨特性を実現します。
高品質な表面が要求されるガラス基板研磨等に用いられる、コロイダルシリカやアルミナを主成分としたスラリーです。高研磨レート、低欠陥性に優れており、お客様からの厳しい要求にお応えいたします。