霓达杜邦株式会社

产品信息 Products

精益求精，磨砺未来

作为一家在抛光垫领域占据全球市场份额首位的领头企业，我们致力于提供包括抛光液、工件固定材料、修整器在内的全线产品，实现抛光用耗材领域的整体解决方案。
我们为半导体器件的化学机械抛光（CMP）等工艺，提供能够实现纳米级乃至原子级超高精度抛光的最高品质系统。

(01) Polishing Pad 抛光垫

作为抛光垫领域的领头企业。

我们提供发泡聚氨酯抛光垫、无纺布垫和绒毛垫系列产品，广泛适用于半导体器件、硅晶片、化合物晶片、玻璃衬底等多种应用场景。
尤其通过特殊发泡技术与硅晶片领域积累的专有技术相融合，我们的产品不仅能发挥顶尖的抛光性能，而且自1980年化学机械抛光（CMP）工艺首次引入半导体器件制造之初，便作为抛光垫行业的领头企业，积累了丰富的实践经验与技术洞察。

(02) Polishing Slurry 抛光液

凭借抛光垫与抛光液的协同效应，实现最佳表面处理。

我们的抛光液产品线覆盖硅晶片初抛、半精抛、精抛及边缘抛光，适用于蓝宝石、钽酸锂/铌酸锂等化合物晶片以及玻璃衬底等多种场景，同时提供氧化膜、钨、铜阻挡层等专用抛光液，全面满足多样化应用需求。
通过与全球市场份额首位的抛光垫之间的协同效应，我们能够实现卓越的平整度与均匀性，为客户打造最佳表面处理方案。

(03) Conditioner / Fixturing 修整器/工件固定材料

提供包括抛光垫、抛光液在内的抛光整体解决方案。

霓达杜邦集团通过整合抛光垫、抛光液、工件固定材料、修整器等抛光用耗材，为超高精度表面加工提供抛光整体解决方案。
工件固定材料“吸附垫”可实现硅晶片的无蜡式抛光头固定，修整器“DiaGrid™系列”在硬质发泡聚氨酯垫的修整作业中展现出卓越的性能。