
工件固定材料/垫材
“工件固定材料(基材薄膜)”是一种无需用蜡即可将晶片固定于抛光机载板的产品,可有效提升晶片与衬底的平坦化程度,并通过自动化实现生产效率的优化。我们提供多种尺寸与材质的规格,可根据客户需求定制工件固定材料。
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工程
研磨装置へのウェーハ固定
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機能
高平坦性 ・ 高吸着性 ・ 耐薬品性 ・ ウェーハ保持性
霓达杜邦集团通过整合抛光垫、抛光液、工件固定材料、修整器等抛光用耗材,为超高精度表面加工提供抛光整体解决方案。
工件固定材料“吸附垫”可实现硅晶片的无蜡式抛光头固定,修整器“DiaGrid™系列”在硬质发泡聚氨酯垫的修整作业中展现出卓越的性能。
“工件固定材料(基材薄膜)”是一种无需用蜡即可将晶片固定于抛光机载板的产品,可有效提升晶片与衬底的平坦化程度,并通过自动化实现生产效率的优化。我们提供多种尺寸与材质的规格,可根据客户需求定制工件固定材料。
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工程
研磨装置へのウェーハ固定
機能
高平坦性 ・ 高吸着性 ・ 耐薬品性 ・ ウェーハ保持性
我们与台湾KINIK公司签订日本市场总代理协议,负责其生产的“CMP抛光垫用金刚石修整器”在日本市场的销售业务。依托KINIK公司先进的硬焊技术与金刚石排布工艺,实现了卓越的修整性能。
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工程
研磨パッドコンディショナー(ダイヤモンド)
機能
研磨パッド立ち上げ ・ 研磨パッド表面特性の維持
Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.
IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.
Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.
DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.