工件固定材料/垫材

“工件固定材料（基材薄膜）”是一种无需用蜡即可将晶片固定于抛光机载板的产品，可有效提升晶片与衬底的平坦化程度，并通过自动化实现生产效率的优化。我们提供多种尺寸与材质的规格，可根据客户需求定制工件固定材料。

用途
半导体/硅晶片/其他

R303

用途
半导体/硅晶片/其他
工艺
抛光设备的晶片固定工具
功能
晶圆保持性 ・ 耐化学性

R305

用途
半导体/硅晶片/其他
工艺
抛光设备的晶片固定工具
功能
晶圆保持性 ・ 高吸附性

R601

用途
半导体/硅晶片/其他
工艺
抛光设备的晶片固定工具
功能
晶圆保持性

R703

用途
半导体/硅晶片/其他
工艺
抛光设备的晶片固定工具
功能
晶圆保持性 ・ 高平坦度

(03) Conditioner / Fixturing 修整器/工件固定材料

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

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