ワーク保持材（バッキング材）

ウェーハをワックスレスで研磨機のキャリアプレートに保持するための製品で、ウェーハや基板の平坦化向上や、自動化による生産性の向上が見込まれる『ワーク保持材（バッキング材）』。サイズ・材質を各種取り揃えており、お客様のご要望に応じたワーク保持材をお届けしています。

用途
半導体 / シリコンウェーハ / その他

R303

用途
半導体 / シリコンウェーハ / その他
工程
研磨装置へのウェーハ固定
機能
ウェーハ保持性 ・ 耐薬品性

R305

用途
半導体 / シリコンウェーハ / その他
工程
研磨装置へのウェーハ固定
機能
ウェーハ保持性 ・ 高吸着性

R601

用途
半導体 / シリコンウェーハ / その他
工程
研磨装置へのウェーハ固定
機能
ウェーハ保持性

R703

用途
半導体 / シリコンウェーハ / その他
工程
研磨装置へのウェーハ固定
機能
ウェーハ保持性 ・ 高平坦性

(03) Conditioner / Fixturing ワーク保持材／
コンディショナー

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

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