ニッタ・デュポンでは、研磨パッド・研磨スラリーとともに、ワーク保持材・コンディショナーなどの研磨用消耗資材も取り揃えることで、超精密平面用の研磨トータルソリューションを提供。
ワーク保持材「テンプレート・アッセンブリー」は、シリコンウェーハなどをワックスレスで研磨ヘッドに保持でき、コンディショナー「DiaGrid® シリーズ」は、特に硬質発泡ポリウレタンパッドのコンディショニングにおいて優れた性能を発揮します。
ウェーハをワックスレスで研磨機のキャリアプレートに保持するための製品で、ウェーハや基板の平坦化向上や、自動化による生産性の向上が見込まれる『ワーク保持材（バッキング材）』。サイズ・材質を各種取り揃えており、お客様のご要望に応じたワーク保持材をお届けしています。
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工程
研磨装置へのウェーハ固定
機能
高平坦性 ・ 高吸着性 ・ 耐薬品性 ・ ウェーハ保持性
台湾・KINIK社と総販売代理店契約を結んでおり、日本国内におけるKINIK社製『CMPパッド用ダイヤモンドコンディショナー』の販売窓口を担当。KINIK社の優れた溶着技術・ダイヤ配置技術により、高いコンディショニング性能を実現しています。
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工程
研磨パッドコンディショナー（ダイヤモンド）
機能
研磨パッド立ち上げ ・ 研磨パッド表面特性の維持
Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.
IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.
Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.
DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.
