ニッタ・デュポン株式会社の研究開発や独自の研磨技術に関する最新情報、また学会で発表された資料をご紹介します。

2019年度

ウレタンパッドを用いた研磨時のフリクションを低減可能な水溶性高分子の特徴

2018年度

シリコンウェーハ研磨におけるスラリー中のアルカリ種と研磨性能との関係調査

複数種の水溶性高分子を用いた低欠陥・高平滑性シリコンウェーハ研磨用スラリーの開発

2017年度

シリカスラリーの安定性がディフェクト性能に与える影響

タンタル酸リチウム(LiTaO3)基板でのCMPスラリーのpHと砥粒径の効果