シリコンウェーハ用の研磨パッドおよびスラリーは、厳しい技術革新の続くシリコンウェーハ業界に向けて製造・販売される製品です。 一次研磨、二次研磨では高平坦性、低欠陥性、高生産性などの優れた研磨性能を安定して実現でき、ファイナル研磨ではスクラッチフリー、ヘイズフリーなど無欠陥な仕上げ表面を得ることができます。
シリコンウェーハ用研磨パッド
MH™シリーズ / EXTERION™シリーズ
MH™パッドは優れた発泡コントロール技術から生まれたポリウレタンパッドで、主にシリコンウェーハの一次研磨・二次研磨用パッドです。200mmや300mmウェーハにおける高平坦化研磨に対応いたします。
EXTERION™は、MH™パッドの次世代品として位置づけられ、最先端ウェーハ製造工程など様々なアプリケーションでの品質向上に寄与します。


Supreme™シリーズ
Supreme™シリーズは、主にシリコンウェーハの仕上げ工程における最終の傷取りやパーティクルの除去等を目的とした仕上げ用研磨パッドです。
シリコンウェーハ用研磨スラリー
ワーク保持材
テンプレート・アッセンブリー
T/Aはシリコンウェーハをワックスレスで研磨機のキャリアプレートに保持するための製品です。ウェーハや基板の平坦化向上、自動化による生産性の向上が見込まれます。サイズ、材質を各種取り揃え、お客様のご要望に応じた製品をお届けいたします。