LK393C4
- 用途
- 半导体
- 工艺
- 铜阻挡层 ・ TSV（硅通孔）
- 功能
- 高抛光去除速率 ・ 降低成本
Acuplane™系列
“Acuplane™系列”是针对可调控选择比的铜阻挡层及TSV应用推出的抛光液产品线。该系列在半导体逻辑和存储器生产过程中展现出可预期的特性表现，同时适用于成熟制程节点与先进制程节点的生产需求。
LK393C4
(02) Polishing Slurry 抛光液
Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.
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Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.
DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.
