Machplaner™系列

“Machplaner™系列”是用于蓝宝石等化合物抛光，以及钽酸锂衬底、铌酸锂衬底等氧化物抛光的抛光液产品。通过磨料的最优配比，实现高去除速率与高表面质量。

用途
树脂/陶瓷 ・ 蓝宝石衬底/其他 ・ 玻璃衬底/石英衬底 ・ LiTaO3衬底/LiNbO3衬底

Machplaner™MS2030

用途
蓝宝石衬底/其他
工艺
一次抛光 ・ 终精抛
功能
高抛光去除速率 ・ 低摩擦阻力

Machplaner™MS2105

用途
蓝宝石衬底/其他
工艺
一次抛光 ・ 终精抛
功能
高抛光去除速率

Machplaner™ST2010

用途
玻璃衬底/石英衬底
工艺
一次抛光 ・ 终精抛
功能
高抛光去除速率

Machplaner™MS3005

用途
LiTaO3衬底/LiNbO3衬底
工艺
一次抛光 ・ 终精抛
功能
高抛光去除速率 ・ 降低晶片表面粗糙度

Machplaner™MS4300

用途
树脂/陶瓷
工艺
一次抛光 ・ 终精抛
功能
高抛光去除速率 ・ 高选择比

(02) Polishing Slurry 抛光液

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.

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