Nanopure™系列

“Nanopure™系列”是用于硅晶片初抛、半精抛、精抛、及边缘抛光的抛光液产品。该系列能稳定发挥高平坦度、低缺陷率、高生产效率等卓越抛光性能。

用途
半导体/硅晶片

Nanopure™NP3660

用途
半导体/硅晶片
工艺
多晶硅 ・ 一次抛光
功能
超高抛光去除速率

(02) Polishing Slurry 抛光液

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.