Nanopure™系列

“Nanopure™系列”是用于硅晶片初抛、半精抛、精抛、及边缘抛光的抛光液产品。该系列能稳定发挥高平坦度、低缺陷率、高生产效率等卓越抛光性能。

用途
硅晶片

Nanopure™NP6220

用途
硅晶片
工艺
一次抛光
功能
减少杂质金属

Nanopure™NP6501

用途
硅晶片
工艺
一次抛光
功能
高抛光去除速率

Nanopure™NP6504

用途
硅晶片
工艺
一次抛光
功能
高抛光去除速率

Nanopure™NP6610

用途
硅晶片
工艺
一次抛光
功能
高抛光去除速率 ・ 降低晶片表面粗糙度

Nanopure™NP6700

用途
硅晶片
工艺
一次抛光
功能
优化边缘形状 ・ 降低晶片表面粗糙度

Nanopure™EG1103

用途
硅晶片
工艺
边缘抛光
功能
高抛光去除速率 ・ 降低成本

Nanopure™NP7310

用途
硅晶片
工艺
半精抛
功能
高抛光去除速率 ・ 降低成本

Nanopure™NP7050S

用途
硅晶片
工艺
半精抛
功能
晶片边缘高平坦度 ・ 自然氧化膜去除效率

Nanopure™NP8020H

用途
硅晶片
工艺
DSP冲洗 ・ 半精抛
功能
高抛光去除速率

Nanopure™NP8065

用途
硅晶片
工艺
终精抛
功能
减少晶片缺陷 ・ 降低成本

Nanopure™NP8100

用途
硅晶片
工艺
终精抛
功能
减少晶片缺陷

Nanopure™NP8205

用途
硅晶片
工艺
终精抛
功能
减少晶片缺陷

(02) Polishing Slurry 抛光液

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.

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