Novaplane™系列

“Novaplane™系列”是具备高抛光效率与可调控选择比特性的钨(W)抛光液产品线。该系列凭借卓越的平坦化特性、缺陷控制特性以及帮助客户降低成本的优势,满足钨化学机械抛光(CMP)领域的客户需求。

用途
半导体

Novaplane™NVP1001

用途
半导体
工艺
功能
高抛光去除速率 ・ 台阶消除 ・ 降低成本

(02) Polishing Slurry 抛光液

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.