Acuplane™シリーズ

調整可能な選択性を持つCuバリアや、TSV用のラインナップである『Acuplane™シリーズ』。半導体ロジックやメモリー生産プロセスにおいて想定可能な特性を示し、成熟デバイスノードと先端デバイスノードの両方の生産に提供されています。

用途
半導体

LK393C4

用途
半導体
工程
Cuバリア ・ TSV
機能
高研磨レート ・ コスト低減

(02) Polishing Slurry 研磨スラリー

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.

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