Nanopure™シリーズ（半導体）

シリコンウェーハの一次研磨・二次研磨・仕上げ研磨・エッジ研磨用である、『Nanopure™シリーズ』。高平坦性・低欠陥・高生産性など、優れた研磨性能を安定して発揮しています。

用途
半導体

Nanopure™NP1000MS

用途
半導体
工程
Cuバルク
機能
高研磨レート

Nanopure™NP3650

用途
半導体
工程
ポリシリコン
機能
高選択性 ・ ウェーハ欠陥低減

(02) Polishing Slurry 研磨スラリー

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.

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