Machplaner™シリーズ

サファイアなどの化合物研磨や、LiTaO3基板・LiNbO3基板などの酸化物研磨に使用されている、『Machplaner™シリーズ』。砥粒の最適な配合により、高研磨レートや高表面品質を実現しています。

用途
樹脂 / セラミック ・ サファイア基板 / その他 ・ ガラス基板 / 石英基板 ・ LiTaO3基板 / LiNbO3基板

Machplaner™MS2030

用途
サファイア基板 / その他
工程
一次研磨 ・ 仕上げ研磨
機能
高研磨レート ・ 低摩擦抵抗

Machplaner™MS2105

用途
サファイア基板 / その他
工程
一次研磨 ・ 仕上げ研磨
機能
高研磨レート

Machplaner™ST2010

用途
ガラス基板 / 石英基板
工程
一次研磨 ・ 仕上げ研磨
機能
高研磨レート

Machplaner™MS3005

用途
LiTaO3基板 / LiNbO3基板
工程
一次研磨 ・ 仕上げ研磨
機能
高研磨レート ・ ウェーハ表面粗さ低減

Machplaner™MS4300

用途
樹脂 / セラミック
工程
一次研磨 ・ 仕上げ研磨
機能
高研磨レート ・ 高選択性

(02) Polishing Slurry 研磨スラリー

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.

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