ILD™シリーズ

優れた分散技術により、ヒュームドシリカ砥粒の性能を安定させた高品質な『ILD™シリーズ』。ハイクオリティな低欠陥性能や研磨効率などの特性により、お客様のプロセス改善を実現しています。

用途
半導体

ILD™3225

用途
半導体
工程
酸化膜
機能
高研磨レート ・ ウェーハ欠陥低減

ILD™4221

用途
半導体
工程
酸化膜
機能
高研磨レート ・ ウェーハ欠陥低減

(02) Polishing Slurry 研磨スラリー

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.

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