Nanopure™シリーズ（シリコンウェーハ）

シリコンウェーハの一次研磨・二次研磨・仕上げ研磨・エッジ研磨用である、『Nanopure™シリーズ』。高平坦性・低欠陥・高生産性など、優れた研磨性能を安定して発揮しています。

用途
シリコンウェーハ

Nanopure™NP6220

用途
シリコンウェーハ
工程
一次研磨
機能
不純物金属低減

Nanopure™NP6501

用途
シリコンウェーハ
工程
一次研磨
機能
高研磨レート

Nanopure™NP6504

用途
シリコンウェーハ
工程
一次研磨
機能
高研磨レート

Nanopure™NP6610

用途
シリコンウェーハ
工程
一次研磨
機能
高研磨レート ・ ウェーハ表面粗さ低減

Nanopure™NP6700

用途
シリコンウェーハ
工程
一次研磨
機能
エッジ形状最適化 ・ ウェーハ表面粗さ低減

Nanopure™EG1103

用途
シリコンウェーハ
工程
エッジ研磨
機能
高研磨レート ・ コスト低減

Nanopure™NP7310

用途
シリコンウェーハ
工程
二次研磨
機能
高研磨レート ・ コスト低減

Nanopure™NP7050S

用途
シリコンウェーハ
工程
二次研磨
機能
ウェーハ端部高平坦性 ・ 自然酸化膜除去効率性

Nanopure™NP8020H

用途
シリコンウェーハ
工程
DSPリンス ・ 二次研磨
機能
高研磨レート

Nanopure™NP8065

用途
シリコンウェーハ
工程
仕上げ研磨
機能
ウェーハ欠陥低減 ・ コスト低減

Nanopure™NP8100

用途
シリコンウェーハ
工程
仕上げ研磨
機能
ウェーハ欠陥低減

Nanopure™NP8205

用途
シリコンウェーハ
工程
仕上げ研磨
機能
ウェーハ欠陥低減

(02) Polishing Slurry 研磨スラリー

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.

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