Novaplane™シリーズ

高い研磨効率と調整可能な選択性の特性を持つ、タングステン（W）スラリーのラインナップである、『Novaplane™シリーズ』。優れた平坦特性や欠陥低減特性、お客様でのコスト削減など、タングステンCMP研磨における顧客のニーズに応えています。

用途
半導体

Novaplane™NVP1001

用途
半導体
工程
タングステン
機能
高研磨レート ・ 段差解消性 ・ コスト低減

(02) Polishing Slurry 研磨スラリー

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.

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