EXTERION™シリーズ

MH™シリーズの次世代品として位置づけられている、『EXTERION™シリーズ』。最先端ウェーハ製造工程など、さまざまなアプリケーションにおいて品質向上に貢献しています。

用途
シリコンウェーハ

EXTERION™ SL-42

用途
シリコンウェーハ
工程
一次研磨
機能
ウェーハ欠陥低減

EXTERION™ SM-11

用途
シリコンウェーハ
工程
一次研磨
機能
ウェーハ端部平坦性

EXTERION™ SL-11

用途
シリコンウェーハ
工程
一次研磨
機能
ウェーハ端部平坦性 ・ 高研磨レート

EXTERION™ N1251M

用途
シリコンウェーハ
工程
一次研磨
機能
ウェーハ端部平坦性 ・ 高研磨レート

(01) Polishing Pad 研磨パッド

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.

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