MH™シリーズ

優れた発泡コントロール技術から生まれたポリウレタンパッドで、主にシリコンウェーハの一次研磨・二次研磨用である『MH™シリーズ』。200mmや300mmウェーハにおける、高平坦化研磨に対応しています。

用途
シリコンウェーハ / その他

MH™ S15S

用途
シリコンウェーハ / その他
工程
一次研磨
機能
コスト低減

(01) Polishing Pad 研磨パッド

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.