Suba™シリーズ（シリコンウェーハー）
不織布ベースの研磨パッドで、主にシリコンウェーハの一次研磨・二次研磨・Final研磨用の『Suba™シリーズ』。高研磨レート・高平坦性・低欠陥性といった特長があり、GaAs・InP・LiTaO3・LiNbO3など、さまざまなウェーハにも対応しています。
Suba™800M2
Suba™3000
(01) Polishing Pad 研磨パッド
Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.
IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.
Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.
DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.
