IC1000™シリーズ

化学的機械研磨(CMP)用パッドの業界標準である『IC1000™シリーズ』は、今日では、さまざまなCMPアプリケーションに使用。配合は一貫していますが、製品の品質と一貫性は20年以上にわたり継続的に向上させています。

用途
半導体

IC1000™

用途
半導体
工程
Cuバルク ・ ポリシリコン ・ タングステン ・ STI ・ 酸化膜 ・ Buff
機能
高研磨レート ・ 段差解消性

(01) Polishing Pad 研磨パッド

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.