Supreme™シリーズ

業界標準のソフトパッドである、『Supreme™シリーズ』。化学的機械研磨（CMP）のCuバリアや、バフ研磨用に使用されています。

用途
半導体 / シリコンウェーハ / その他

Supreme™ RN-H

用途
半導体 / シリコンウェーハ / その他
工程
Buff ・ 仕上げ研磨
機能
高研磨レート

Supreme™ RN-R

用途
半導体 / シリコンウェーハ / その他
工程
Buff ・ 仕上げ研磨
機能
コスト低減 ・ バッチ間安定性

(01) Polishing Pad 研磨パッド

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.

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