EXTERION™系列

MH™系列的下一代产品——“EXTERION™系列” 在最尖端晶片制造工艺等多样化应用场景中,助力品质提升。

用途
硅晶片

EXTERION™ SL-42

用途
硅晶片
工艺
一次抛光
功能
减少晶片缺陷

EXTERION™ SM-11

用途
硅晶片
工艺
一次抛光
功能
晶片边缘平坦度

EXTERION™ SL-11

用途
硅晶片
工艺
一次抛光
功能
晶片边缘平坦度 ・ 高抛光去除速率

EXTERION™ N1251M

用途
硅晶片
工艺
一次抛光
功能
晶片边缘平坦度 ・ 高抛光去除速率

(01) Polishing Pad 抛光垫

Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.

IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.

DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.