IC1000™
- 用途
- 半导体
- 工艺
- 块状铜 ・ 多晶硅 ・ 钨 ・ STI ・ 氧化膜 ・ Buff
- 功能
- 高抛光去除速率 ・ 台阶消除
IC1000™系列
作为化学机械抛光（CMP）垫片的行业标准，“IC1000™系列”已被广泛应用于各种化学机械抛光工艺场景。尽管产品配方始终保持不变，但20余年以来其品质与稳定性一直持续提升。
IC1000™
(01) Polishing Pad 抛光垫
Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.
IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.
Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.
DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.
