Optivision™ Pro 9500
- 用途
- 半导体
- 工艺
- 铜阻挡层 ・ Buff
- 功能
- 高抛光去除速率 ・ 减少晶片缺陷 ・ 降低成本
“Optivision™系列“是杜邦及霓达杜邦公司推出的化学机械抛光(CMP)用第二代软质抛光垫。该系列以提高Supreme™系列性能、降低综合使用成本为目标设计。
Supreme™, MH™, EXTERION™, ILD™, Nanopure™ and Machplaner™ are trademarks of NITTA DuPont Incorporated.
IC1000™ is a trademark or service mark of NITTA DuPont Incorporated or affiliates of DuPont de Nemours, Inc.
Suba™, VisionPad™, Ikonic™, Optivision™, Acuplane™, Optiplane™ and Novaplane™ are trademarks, service marks or registered trademarks of affiliates of DuPont de Nemours, Inc.
DiaGrid ® and Pyradia ® are registered trademarks of KINIK Company.